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北京歐倍爾科學(xué)儀器有限公司

德國進(jìn)口等離子表面處理設備中國總代理

400-686-0188

產(chǎn)品名稱(chēng)瑞士高真空涂層鍍膜系統

瑞士Safematic高真空涂層鍍膜系統是一個(gè)緊湊,全自動(dòng)的濺射鍍膜機,使用非常簡(jiǎn)單。由于獨特的插入式設計,該設備可通過(guò)簡(jiǎn)單地改變工藝頭就可輕松配置為濺射或汽化...
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瑞士Safematic高真空涂層鍍膜系統


Safematic GmbH在瑞士的萊茵河谷制造技術(shù)領(lǐng)先的碳和濺射鍍膜機,該地區以真空和鍍膜技術(shù)的專(zhuān)業(yè)知識而聞名。Safematic研發(fā)團隊的關(guān)鍵成員在EM和薄膜涂層方面擁有多年經(jīng)驗。安全專(zhuān)家基于這些專(zhuān)業(yè)知識和知識,在每個(gè)涂層頭中設計了關(guān)鍵組件,從而優(yōu)化了儀器性能,同時(shí)最大程度地減少了停機時(shí)間并提高了維修便利性。


Safematic CCU-010 涂層設備

CCU-010是一個(gè)緊湊,全自動(dòng)的濺射鍍膜機或碳鍍膜機,使用非常簡(jiǎn)單。由于獨特的插入式設計,該設備可通過(guò)簡(jiǎn)單地改變工藝頭就可輕松配置為濺射或汽化。在涂覆之前或之后,可以施加等離子體處理。模塊化設計可輕松避免金屬和碳沉積之間的交叉污染。

CCU-010具有靜態(tài)樣品臺,包括高度調節和傾斜度。它可以配備一個(gè)可選的變速旋轉平臺或一個(gè)旋轉球形平臺,每個(gè)平臺都可以容納不同類(lèi)型的樣品和。對于所有樣品臺,膜厚監測均作為標準配置。

Safematic CCU-010 涂層設備


高性能濺射,碳涂層和等離子處理

專(zhuān)利碳盤(pán)管–多達50個(gè)碳涂層,無(wú)需用戶(hù)干預

獨特的即插即用濺射和碳涂層模塊

一流的真空性能和快速的抽空時(shí)間

緊湊,可靠且易于維護

雙位置膜厚監測儀,可容納不同尺寸的樣品

主動(dòng)冷卻的噴頭可確保涂層質(zhì)量并延長(cháng)運行時(shí)間


CCU-010涂層設備有兩種型號。CCU-010LV精細真空基座SEMEDX的常規高質(zhì)量濺射和碳鍍膜而設計,而CCU-010HV高真空系統涵蓋了最高級的SEM,TEM和薄膜應用。模塊化的設計使以后可以輕松地將其從低真空單元轉換為高真空單元。與材料,表面和輪廓有關(guān)的徹底設計可大大縮短加工時(shí)間。兩個(gè)附加的標準真空法蘭允許連接第三方設備。


濺射模塊  SP-010 & SP-011

兩個(gè)濺射模塊均插入CCU-010 LVCCU-010 HV基本單元,即可使用。每個(gè)噴頭模塊均包含用于高質(zhì)量濺射鍍膜的所有關(guān)鍵組件,包括磁控管,靶材,百葉窗,過(guò)程壓力調節器和電力電子系統。此外,創(chuàng )新的接口可在幾秒鐘內將電源,氣體供應和信號傳輸連接到CCU-010基本單元(推入配合)。

SP-010SP-011濺射模塊具有有效的主動(dòng)冷卻功能,連續噴涂時(shí)間長(cháng)達50分鐘-非常適合需要較厚膜的應用。 多種濺射材料可用于SEM,FIB和各種薄膜應用。


濺射模塊


SP-010濺射頭的磁控管旨在優(yōu)化目標用途。這使其成為用于電子顯微鏡中細晶粒貴金屬膜的理想工具。對于最小的晶粒尺寸涂層,需要渦輪泵送的CCU-010 HV本單元。


SP-011濺射裝置的磁控管設計用于大功率濺射和多種涂料。推薦該頭用于要求比標EM應用更高的涂覆速率和更厚的膜的薄膜應用。SP-011CCU-010HV結合使用可滿(mǎn)足諸如DLC,ITO或鐵磁濺射材料涂層等具有挑戰性的應用。


CT-010 碳纖維蒸發(fā)模塊

這個(gè)緊湊的插入式碳蒸發(fā)模塊為碳涂層樹(shù)立了新標準。該頭插入CCU-010 LVCCU-010 HV基本單元,即可立即使用。應用包括SEM,TEM和任何其他需要高質(zhì)量碳膜的過(guò)程。CT-010使用具有專(zhuān)利,獨特且技術(shù)領(lǐng)先的碳纖維繞線(xiàn)系統。這樣就可以進(jìn)行多達50個(gè)涂層,而無(wú)需更換碳源。一段碳纖維蒸發(fā)后,新的一段會(huì )自動(dòng)前進(jìn),用過(guò)的纖維會(huì )掉落到方便的集水盤(pán)中。除了易于使用之外,自動(dòng)繞線(xiàn)系統還允許在一個(gè)處理周期內可控地沉積幾乎任何厚度的碳膜。容易選擇的涂層模式可以執行安全的涂層,從對溫度敏感的樣品上的薄膜進(jìn)行溫和的蒸發(fā)到在FIB應用中的厚層的高功率短時(shí)間碳涂層。智能功率控制結合脈沖蒸發(fā),自動(dòng)百葉窗后面的脫氣和薄膜厚度監控功能,可提供準確的層厚度,并避免了任何可能引起表面不均勻的火花。


碳纖維蒸發(fā)模塊


可選配的GD-010輝光放電系統可以快速安裝,以通過(guò)空氣,氬氣或其他專(zhuān)用氣體等離子體進(jìn)行表面處理。例如,可以使碳膜親水。由于可以按順序進(jìn)行碳涂層和輝光放電處理,因此無(wú)需“破壞”真空條件和更換工藝頭,因此極大地簡(jiǎn)化了此過(guò)程。安裝CT-010中的本機與所有樣品臺兼容。


HEAD真空儲物箱 HS-010

HS-010真空儲物箱可讓您為CCU-010緊湊型涂層裝置保留第二個(gè)涂層頭,一個(gè)額外的行星或旋轉工作臺,并且始終可以在真空下清潔所有濺射靶材和碳絲。使用CCU-010可用的抽氣統,可連接至基本單元的集成抽氣管線(xiàn)將儲物箱向下抽至真空。另外,也可以輕松地連接一臺外部真空泵。 舒適的手動(dòng)鎖定和排氣閥允許對儲物箱進(jìn)行獨立的泵和排氣控制。附加的標準真空室有助于將碳涂層與金屬沉積完全分離,從而有效避免交叉污染。


刻蝕裝置 ET-010

對于樣品預處理或后處理以及涂層工藝,蝕刻裝置可將等離子體施加到基材上。使用該附件,可以選擇氬氣,額外的蝕刻氣體或環(huán)境空氣作為工藝氣體。這樣可以在涂覆之前清潔樣品,并增加薄膜的附著(zhù)力。

另外,有可能在涂覆之后通過(guò)等離子體處理來(lái)改變涂覆樣品的表面性能。利用空氣等離子體,可以將薄碳層從疏水性轉變?yōu)橛H水性??烧{的過(guò)程壓力范圍為2E-1mbar1mbar,等離子電流為1050mA。


COATING-L數據軟件

可以使用基于PCCoating-LAB軟件查看包括圖形信息在內的過(guò)程數據。數據包括壓力,電流,電壓,涂層速率,涂層厚度和涂層速率作為實(shí)時(shí)曲線(xiàn)。便捷的軟件升級和參數設置完善了此智能工具。


樣品臺

CCU-010提供了一個(gè)直徑為80mm的樣品臺,該樣品臺插入了高度可調且可傾斜的樣品臺支架上??梢允褂脤?zhuān)用的樣品臺(選件)輕松替換此靜態(tài)標準臺。SS-010載物臺帶有兩個(gè)26x 76mm(分別為25 x 75mm)顯微鏡載玻片或一個(gè)52 x 76mm(分別為50 x 75mm)載玻片。由于采用了雙位膜厚監測儀,因此兩種傳感器均可使用石英傳感器。旋轉工作臺RS-010改善了平坦表面上的厚度均勻性,而行星驅動(dòng)工作臺PS-010與樣品傾斜相結合,可以均勻地涂覆在裂隙狀,波紋狀,波紋狀或非常球形的樣品上。


樣品臺


【本文標簽】:高真空涂層鍍膜系統
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